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發(fā)布時間:2020-04-22 來源:元祿光電
激光刻蝕是生產薄膜太陽能電池模塊的重要工具,特別是高性能超短脈沖激光器,其能提供持續(xù)時間僅幾個皮秒的超短脈沖,這不但能幫助制造商提高產量,而且還能優(yōu)化加工工藝。
在針對解決未來能源問題的討論中,光伏能源作為一種可再生能源扮演著重要角色。技術進步是實現電能平價消費的一個至關重要的前提條件,比如通過技術進步將光伏發(fā)電的成本降低到接近傳統能源的成本。
目前,晶硅太陽能電池是光伏市場中的主導產品,其轉換效率最高達20%。在晶硅太陽能電池的制造過程中,激光刻蝕技術主要用于晶圓切割和邊緣絕緣。
太陽能電池
在激光邊緣絕緣過程中,激光輔助摻雜(doping)工藝用于防止電池正面與背面之間的短路而引起的功率損失。越來越多的激光刻蝕技術被用于激光輔助摻雜工藝中,以改善載流子的遷移率,特別是對于電極的接觸指而言尤為如此。在過去的幾年中,薄膜太陽能電池取得了巨大的發(fā)展,業(yè)界專家們更是希望其未來能在光伏市場中占據大約20%的市場份額。
薄膜太陽能電池中所采用的膜層只有幾微米厚,因此其在生產中便能節(jié)約大量材料。在薄膜太陽能電池的制造過程中,激光發(fā)揮著決定性的作用。在整個制造過程中,激光將電池結構化并連接成模塊,并對模塊進行相應的刻蝕處理,進而保證所需要的絕緣性能。
成熟的激光刻線工藝
在非晶硅或碲化鎘(CdTe)薄膜太陽能電池模塊的生產過程中,導電薄膜和光伏薄膜被沉積在大面積玻璃基板上。每層薄膜被沉積后,均利用激光對膜層進行刻蝕,并使各個電池之間自動串聯起來。這樣,就能夠根據電池寬度設定電池和模塊的電流。精確的選擇性非接觸式激光加工,能夠可靠地集成到薄膜太陽能電池模塊的生產線中。人們通常所說的刻線就是單個激光脈沖刻蝕的一個連貫過程,該脈沖聚焦后光斑大小為30~80μm,因此在P1層刻線中,要采用脈寬為幾十納秒(10~80ns)的脈沖光對玻璃基底進行刻蝕。
透明導電氧化物(TCO,如ZnO和SnO2)通常使用近紅外1064nm光纖激光刻蝕技術和相對較高的脈沖重復頻率進行加工。通常需要的脈沖重復頻率要超過100kHz。較高的脈沖重復頻率能夠確保切口處的徹底清潔。
根據材料對激光的吸收系數的不同,需要為特定的加工工藝選擇合適的激光波長。綠光激光刻蝕機對于硅的破壞閾值遠低于其對TCO的破壞閾值,因此綠光激光可以安全透過TCO膜層后,對吸收層進行刻線。P2層和P3層的刻線機理與P1層相同。
單脈沖激光刻線機理本身的特征對脈沖重復頻率提出了一定的限制。為了防止接觸面半導體層的脫落,加工過程中需要的典型脈沖重復頻率為35~45kHz。常用的刻蝕閾值約為2J/cm2,也就是能將25μJ的激光能量聚焦到直徑為40μm的面積上,其平均功率非常低。由于綠光激光刻蝕機的平均功率均為數瓦量級,因此能夠將光束分光后進行多光束并行加工,從而進一步提高工作效率。
對于P1、P2和P3層的刻線應用而言,用于微加工應用的、輸出波長為1064nm和532nm的結構小巧緊湊的二極管泵浦激光器,無疑是一種理想的選擇,并且這種激光器能夠提供極高的脈沖穩(wěn)定性。這類激光器的脈沖持續(xù)時間為8~ 40ns,脈沖重復頻率為1~100kHz。
激光刻蝕清邊保護
為了防止太陽能電池模塊被腐蝕或短路,必須要在其邊緣留出大約1cm寬邊緣,用于接下來整個電池模塊的封裝。目前多使用噴砂的方法來清除這個邊緣。盡管噴砂方法的投資成本較低,但是這個過程卻會帶來磨損、砂的清除以及防塵污染方面的成本。薄膜太陽能電池模塊的生產需要潔凈的、經濟實惠的解決方案,激光刻蝕加工方案無疑是最佳選擇。通過提高激光的平均功率,能夠獲得卓越的加工質量。激光刻蝕加工可以實現大約50cm2/s的去除速度,甚至在30s之內就能加工完成一塊標準尺寸的太陽能電池模塊。
事實上,用同一個脈沖就可以清除所有的邊緣薄膜層,并且清除速率的提高與激光的平均功率密切相關。具有高平均功率和高脈沖能量的激光,可以一次性清除特定的區(qū)域。最適用這種加工應用的是采用光纖傳輸的激光器系統,其輸出方形或矩形光斑。激光經過光纖傳輸后能量分布更加均勻,從而實現清除效果的高度一致性。利用光斑的平行組合,加工效率能比采用傳統光纖提高50%以上,同時還在保證加工安全的前提下降低了脈沖重復頻率。另外,還可以與掃描振鏡結合適用,以減少加工過程中的非生產周期。當然,激光器也應提供相應的分時輸出選擇,來減少非生產時間。此外,可以采用幾個不同的工作站共享同一臺激光刻蝕機的加工方案,這樣就可以做到產品的上下料時間并不影響激光刻蝕機的生產效率。
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