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發(fā)布時間:2018-07-03 來源:元祿光電
ITO是一種透明導(dǎo)電氧化物,中文名叫氧化銦錫,具有良好的透明性和導(dǎo)電性。通常鍍在玻璃或者PET玻璃上作為導(dǎo)電金屬,常見應(yīng)用于觸摸屏和光伏行業(yè)中。
在LCD面板行業(yè)中ITO鍍層良好的透明性和導(dǎo)電性得到廣泛應(yīng)用,針對LCD行業(yè)中ITO的電路形成蝕刻本文列舉以下觀點:
ITO刻蝕的方式主要分為兩種一種是化學(xué)刻蝕法,一種為激光刻蝕法。
化學(xué)ITO刻蝕法的優(yōu)缺點:
優(yōu)點是加工的速度快,可一次性加工大面積范圍,效率極高。
缺點在于酸,堿性蝕刻液不符合環(huán)保的要求及不夠安全,廢液,氣排出后會對周邊環(huán)境造成污染;蝕刻線良品低;蝕刻液的濃度,溫度,作用于材料表面的壓力,浸泡時間會對襯底材料的導(dǎo)電ITO產(chǎn)生影響,而且不易控制;絲印油墨本身是化工原料,對人體會有不良的影響;添加的稀釋劑屬于易燃易爆物品,造成不安全隱患。
ITO激光刻蝕的特點:
產(chǎn)品良品高;激光蝕刻線工藝是通過控制激光的焦點位置直接作用于被清除ITO層上,對底部襯底材料不會造成影響;激光蝕刻線的線體細,易于電路的設(shè)計并可節(jié)省材料;激光蝕刻是通過光能將ITO層瞬間氣化,不需要別的輔助材料,不會對環(huán)境或是操作工人造成不良的影響;激光蝕刻線的參數(shù)全由電腦程序控制,減少人為的操作影響;對于傳統(tǒng)的蝕刻工藝,ITO激光蝕刻機,體積小,占地面積小,無污染,易于設(shè)備管理;
ITO激光刻蝕流程
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