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發(fā)布時(shí)間:2019-04-04 點(diǎn)擊量:5274
采用1064納米激光激光刻蝕機(jī)對FTO、ITO導(dǎo)電膜進(jìn)行線路蝕刻,發(fā)現(xiàn)了FTO、ITO存在蝕刻不斷的現(xiàn)象,出現(xiàn)點(diǎn)狀現(xiàn)象,請問如何處理?
管理員回復(fù):通常情況下激光刻蝕FTO或ITO刻不斷有三點(diǎn)愿意需要去做調(diào)整:
1.檢查薄膜或玻璃材料是否平整,如果檢測平整性高,需要重新校正平臺(tái)、振鏡的精度;
2.檢查激光器的頻率、脈寬設(shè)置,可通過加大頻率、降低脈寬來調(diào)整;
3.檢查振鏡掃描速度設(shè)置,是否開的過快,可降低振鏡掃描速度配合激光器的頻率、脈寬設(shè)置問題來做。
另外還可以通過掃描多次的方式來檢測是否同一個(gè)位置可不短呈現(xiàn)點(diǎn)狀,還是其他位置也有這種情況,可以判斷出是否不平整或振鏡有問題,還可以設(shè)置出光延遲等等問題去解決,如果機(jī)器時(shí)間過長,還要考慮機(jī)器功率衰減的問題,可以通過加大功率來做測試。
管理員 Asked question 2019-05-22
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